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標準氣缸帶導向･雙活塞桿搬運型手指･夾爪搖動型低速型執行元件輔助

+ 空氣閥

電磁閥空氣動作閥･氣控閥手動閥･腳踏閥･機械動作閥電氣控制輔助系統

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壓縮機空氣除濕器 FRL 壓力表

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流量表接頭･配管材速度制御壓力開關消音器沖擊吸收元件支柱･限位空氣壓力表示器

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壓縮機執行元件控制元件真空發生器調質元件輔助元件真空吸盤搬運元件

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空壓･油壓綜合

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執行元件輔助 (感應開關)

線性磁性開關控制器ZL1系列

●可以檢測出工件寬度不同時氣缸行程位置
●輸出模擬數據(DC1-5V)，由于為標準裝備，所以可以與控制機器進行交換
●可以支持4點按鍵輸出，并支持簡易位置檢測

可搭載機器	輸出方式	開關輸出數
帶等	NPN集電極開路	5

無觸點式磁性開關ZE175系列

接頭	配線方式	負載電流 mA
無接頭	3線式DC PNP輸出橫向出線	50MAX

無觸點式磁性開關ZE275系列

接頭	配線方式	負載電流 mA
無接頭	3線式DC PNP輸出向上出線	50MAX

無觸點式磁性開關ZC130系列

對應氣缸
●埋入式復動型
●多形式安裝型
●筆形
●拉桿中型
●SD
●TDA6mm
●AMT
●ARTB
●ACY(中間擋塊式）
●ORV
●ORK16mm
●RAP
●RAN
●擺動型
●氣動手指CHDUL
●SHM

接頭	配線方式	負載電流 mA
無接頭	2線式DC	4～50

無觸點式磁性開關ZC153系列

接頭	配線方式	負載電流 mA
無接頭	3線式DC	100 MAX

無觸點式磁性開關ZC230系列

對應氣缸
●筆形氣缸

接頭	配線方式	負載電流 mA
無接頭	2線式DC	4～50

無觸點式磁性開關ZC253系列

對應氣缸
●筆形氣缸

接頭	配線方式	負載電流 mA
無接頭	3線式DC	100 MAX

無觸點式磁性開關ZC330系列

對應氣缸
●AGTB
●AGTC

接頭	配線方式	負載電流 mA
無接頭	2線式DC	4～50

無觸點式磁性開關ZC353系列

對應氣缸
●AGTB
●AGTC

接頭	配線方式	負載電流 mA
無接頭	3線式DC	100 MAX

無觸點式磁性開關ZG530系列

對應氣缸
●苗條型
●雙通式
●GA
●ORC
●ORCA
●ORK 注MRG
●RAK
●擺動氣缸
●扭轉氣缸注：除去ORK16mm

接頭	配線方式	負載電流 mA
無接頭	2線式DC	4～50

無觸點式磁性開關ZG553系列

對應氣缸　
●苗條型　
●雙通型　
●GA　
●ORC　
●ORCA　
●ORK注MRG　
●RAK　
●擺動型　
●扭轉型注除去ORK16mm

接頭	配線方式	負載電流 mA
無接頭	3線式DC	100 MAX

無觸點式磁性開關ZC630系列

對應氣缸　
●中心軸氣缸

接頭	配線方式	負載電流 mA
無接頭	2線式DC	4～50

無觸點式磁性開關ZC653系列

對應氣缸
●中心軸氣缸

接頭	配線方式	負載電流 mA
無接頭	3線式DC	100 MAX

無觸點式磁性開關ZE135系列

對應氣缸　
●小型方形　
●薄型C系列　
●薄型JC系列　
●帶導向裝置薄型　
●雙活塞桿型B系列　
●桿式滑塊　
●多用滑臺　
●Z滑臺　
●WS　
●AWT　
●ACY注1　
●ACZ注1
●ORV注1　ORS
●MRS注1　
●ORW
●MRW注1　
●氣動手指NHB　
●寬型氣動手指WHDP注2　
●扁平型氣動手指　
●RAT　
●DJ型
注1：僅限導線橫出型　注2：僅限導線上方伸出型

接頭	配線方式	負載電流 mA
無接頭	2線式DC	4～20

無觸點式磁性開關ZE155系列

接頭	配線方式	負載電流 mA
無接頭	3線式DC	50 MAX

無觸點式磁性開關ZE235系列

接頭	配線方式	負載電流 mA
無接頭	2線式DC	4～20

無觸點式磁性開關ZE255系列

接頭	配線方式	負載電流 mA
無接頭	3線式DC	50 MAX

無觸點式磁性開關ZB430系列

對應氣缸　
●薄型J系列　
●TDA10mm～32mm(舊型)　
●氣動滑臺　
●SHM注注：僅限CS9H

接頭	配線方式	負載電流 mA
無接頭	2線式DC	4～50

有觸點式磁性開關CS9H系列

對應氣缸　
●薄型J系列　
●TDA10mm～32mm(舊型)　
●氣動滑臺　
●SHM注注：僅限CS9H

接頭	配線方式	負載電流 mA
無接頭	3線式DC	100 MAX

有觸點式磁性開關CS5T系列

對應氣缸
●埋入式復動型　
●多形式安裝型　
●拉桿中型　
●SD　
●TDA6mm　
●AMT　
●ARTB　
●ACY(中間擋塊用）　
●ORK16mm　
●RAP　
●RAN　
●擺動型　

接頭	配線方式	負載電流 mA
有接頭	2線式DC.AC	DC0.1～40 AC2～25

有觸點式磁性開關CS11T系列

接頭	配線方式	負載電流 mA
有接頭	2線式DC	5～40

有觸點式磁性開關ZC201系列

對應氣缸
●筆形氣缸

接頭	配線方式	負載電流 mA
有接頭	2線式DC.AC	DC0.1～40 AC4～25

有觸點式磁性開關ZC205系列

對應氣缸
●筆形氣缸

接頭	配線方式	負載電流 mA
無接頭	2線式DC	5～40

有觸點式磁性開關CS3M系列

對應氣缸
●苗條型　
●雙通型　
●GA　
●ORC　
●ORCA　
●ORGA
●　ORK注　
●MRG　
●RAK　
●擺動型　
●扭轉型注：16mm除外

接頭	配線方式	負載電流 mA
有接頭	2線式DC.AC	DC10～50 AC10～50 AC5～15

有觸點式磁性開關CM4M系列

對應氣缸
●苗條型　
●雙通型　
●GA　
●ORC　
●ORCA　
●ORGA
●　ORK注　
●MRG　
●RAK　
●擺動型　
●扭轉型注：16mm除外

接頭	配線方式	負載電流 mA
有接頭	2線式DC.AC	DC5～25 AC5～20

有觸點式磁性開關CS5M系列

對應氣缸
●苗條型　
●雙通型　
●GA　
●ORC　
●ORCA　
●ORGA
●　ORK注　
●MRG　
●RAK　
●擺動型　
●扭轉型注：16mm除外

接頭	配線方式	負載電流 mA
有接頭	2線式DC.AC	DC0.1～60 AC2～25

有觸點式磁性開關CS3H系列

對應氣缸
●薄型J系列　
●TDA10mm～32mm(舊型)　
●氣動滑臺　
●SHM注注：僅限CS9H

接頭	配線方式	負載電流 mA
有接頭	2線式DC.AC	DC10～50 AC10～50

有觸點式磁性開關CS4H系列

對應氣缸
●薄型J系列　
●TDA10mm～32mm(舊型)　
●氣動滑臺　
●SHM注注：僅限CS9H

接頭	配線方式	負載電流 mA
有接頭	2線式DC.AC	DC5～25 AC5～20

有觸點式磁性開關CS5H系列

對應氣缸
●薄型J系列　
●TDA10mm～32mm(舊型)　
●氣動滑臺　
●SHM注注：僅限CS9H

接頭	配線方式	負載電流 mA
有接頭	2線式DC.AC	DC0.1～60 AC2～25

有觸點式磁性開關ZC301系列

對應氣缸
●AGTB　
●AGTC　
●ORCJ　
●MRC

接頭	配線方式	負載電流 mA
有接頭	2線式DC.AC	DC0.1～40 AC2～25

有觸點式磁性開關ZC305系列

對應氣缸
●AGTB　
●AGTC　
●ORCJ　
●MRC

接頭	配線方式	負載電流 mA
有接頭	2線式DC	5～40

有觸點式磁性開關ZC601系列

對應氣缸
●中心軸氣缸

接頭	配線方式	負載電流 mA
有接頭	2線式DC.AC	DC0.1～40 AC2～25

有觸點式磁性開關ZC605系列

對應氣缸
●中心軸氣缸

接頭	配線方式	負載電流 mA
有接頭	2線式DC	5～40

有觸點式磁性開關ZE101系列

對應氣缸
●薄型C系列　
●薄型JC系列　
●帶導向裝置薄型　
●雙活塞桿B系列　
●桿式滑塊　
●多用途滑臺　
●AWT　
●ACY注　
●ACZ注　
●WS　
●ORV注　
●ORS注　
●MRS注　
●ORW
●MRW　
●RAT　
●DJ氣缸注：僅限導線橫出系列

接頭	配線方式	負載電流 mA
有接頭	2線式DC.AC	DC40 MAX AC20 MAX

有觸點式磁性開關ZE102系列

接頭	配線方式	負載電流 mA
有接頭	2線式DC.AC	DC5～40 AC5～20

有觸點式磁性開關ZE201系列

接頭	配線方式	負載電流 mA
有接頭	2線式DC.AC	DC40 MAX AC20 MAX

有觸點式磁性開關ZE202系列

接頭	配線方式	負載電流 mA
有接頭	2線式DC.AC	DC5～40 AC5～20

有觸點式磁性開關CS2F系列

對應氣缸
●苗條型注　
●拉桿中型
●GA　
●擺動型　注：苗條可鎖型16mm除外

接頭	配線方式	負載電流 mA
有接頭	2線式AC	2～200

有觸點式磁性開關CS3F系列

對應氣缸
●苗條型注　
●拉桿中型
●GA　
●擺動型　注：苗條可鎖型16mm除外

接頭	配線方式	負載電流 mA
有接頭	2線式DC	10～46

有觸點式磁性開關CS4F系列

對應氣缸
●苗條型注　
●拉桿中型
●GA　
●擺動型　注：苗條可鎖型16mm除外

接頭	配線方式	負載電流 mA
有接頭	2線式DC	5～25

有觸點式磁性開關CS5F系列

對應氣缸
●苗條型注　
●拉桿中型
●GA　
●擺動型　注：苗條可鎖型16mm除外

接頭	配線方式	負載電流 mA
有接頭	2線式DC	0.1～80

執行元件輔助 (活塞桿前端連接配件)

氣缸軸接頭

●能很容易地對氣缸與工件的軸心與平行度的進行調整，從而縮短裝配所用時間
●質樸的外觀上裝配有防塵密封

偏心量 mm	螺紋叫法	搖動角度
0.5～2.5	M3～M26	+/-5度

氣缸活塞桿尾端球鉸接頭

●備有11種螺紋尺寸，適用于直徑6mm～100mm的氣缸
●使用了氟素樹脂襯墊的無需給油型，免去了維護工序

適合缸缸徑 mm	螺紋尺寸	潤滑
6～100	M3～M26	不加油

低速型 (雙活塞桿型)

低速雙活塞桿式氣缸

缸徑 mm	行程 mm	使用速度范圍
6～32	10～100	1～200mm/s

低速型 (帶導向型)

低速有導向薄型氣缸

●最適合用于搬運生產線上的制動、提升用
●對應的用途主要是滑動軸承，滾動軸承形兩種
●有四種方式，兩個方向配管的安裝形式

缸徑 mm	行程 mm	使用速度范圍
6～63	5～200	5～200mm/s

低速型 (標準型)

低速筆形氣缸

●實現了順暢穩定地低速運動
●適用于易破損工件的低速搬運
●各種氣缸的外形尺寸與標準產品一致

缸徑 mm	行程 mm	使用速度范圍
6～16	5～200	1～200mm/s

低速多形式安裝式氣缸

●可以裝配易搭載的小型4mm的角形傳感器
●還備有無回轉型產品，適合于對無回轉精度的需要
●方形的構造十分緊湊，并且實現對各種支架的裝載

缸徑 mm	行程 mm	使用速度范圍
6～16	5～30	1～200mm/s

低速薄型氣缸C系列

●為節省整體設備的空間，設計出的薄型主體。
●廣泛的功能，氣缸的缸徑從12-63mm足以應對一切需要。
●再加上方形桿所實現的無回轉機能，使設計高效率的機械裝置進一步成為可能

缸徑 mm	行程 mm	使用速度范圍
12～63	5～100	1～200mm/s

低速苗條型氣缸

缸徑 mm	行程 mm	使用速度范圍
16～63	15～300	1～200mm/s

搖動型 (直線-搖動運動)

擺動氣缸

●將直線和搖動的機能很簡易地結合在了一起
●能夠交互或同時獲得直線運動和搖動運動的擺氣缸

缸徑 mm	行程 mm	配管連接口徑搖動角度
25～40	15～100	Rc1/8 45～180

扭轉氣缸

●一個行程內進行直過并且同時進行90度回轉
●苗條主體上安排有一處集中配管的設計
●氣缸的直徑有16mm、25mm、40mm三種類型

缸徑 mm	行程 mm	配管連接口徑
16～40	20～50	M5.Rc1/8

搖動型 (搖動運動)

旋轉式執行元件RAN系列

●小型，質量輕，很容易進行裝配。裝置使用方便。
●是漏氣較少，壽命很長的無需給油型產品

力矩 Nm	搖動角度度	配管連接口徑
0.118～ 5.197	90～275	M5.Rc1/8

旋轉式執行元件RANS（可搭載傳感器式）系列

●小型，質量輕，很容易進行裝配。裝置使用方便。
●是漏氣較少，壽命很長的無需給油型產品

力矩 Nm	搖動角度度	配管連接口徑
0.118～ 5.197	90～275	M5.Rc1/8

旋轉式執行元件RAP系列

●重視了空間使用效率的方形，主體上集中一面配管使用便捷
●無回卷、無泄漏的雙齒條式產品

力矩 Nm	搖動角度度	配管連接口徑
0.082～ 1.937	90～360	M5.Rc1/8

旋轉式執行元件RAT系列

●輕量，精巧，使用軸承實現了高精度
●工件安裝部是易于使用的工作臺型

力矩 Nm	搖動角度度	配管連接口徑
0.42～ 2.87	90～180	M5

旋轉式執行元件RWT系列

●利用空氣信號及棘輪裝置，工作臺部按固定角度、固定方向旋轉的有原理工作的空氣驅動式分度臺。
回轉角度…………………45度; 60度; 90度;
回轉扭距………………1.0 N・m
回轉角精度…………………±0.2゜

力矩 Nm	搖動角度度	配管連接口徑
1.0	45～90	M5

旋轉式執行元件RAG系列

●采用了向心止推軸承，減輕了震動和擺動，實現了高精度和高剛性
●可以裝載緩沖器，可以實現系統的小型緊湊化

力矩 Nm	搖動角度度	配管連接口徑
0.118～ 1.96	-5～185	M5

扁平型旋轉式執行元件

●采用了交叉滾柱軸承，得以實現高精度、高剛性、低重心等特點
●即使在狹小的空間里，也可以裝配使用的超薄型設計
●搭載有新開發的耐壓型緩沖器，以實現在終端的流暢地控制

力矩 Nm	搖動角度度	配管連接口徑
0.96～ 6.65	-5～185	M5.Rc1/8

手指･夾爪 (抓取)

標準機械手模塊

●將生產線上的自動化機器組件的固定、回轉、直動、誤差吸收、把持等各機能規格化的管理模塊。模塊與模塊間的裝載而尺寸是32mm的J尺寸，50mm的S尺寸，65mm的M尺寸及85mm的L尺寸的四種。另外在M碼上還搭配有S碼，L碼上搭配有M碼的裝配孔�？梢栽诳s短設計時間，削減費用，在自動化生產線的搭建初期會發揮很大的威力。

類型	功能	安裝面尺寸
S.M.L	固定回轉范圍直動吸收誤差把握	S:50.M:65.L:85mm

標準機械手模塊微型系列

類型	功能	安裝面尺寸
J	吸收誤差把握	J:40mm

手指･夾爪 (手指)

扁平型氣動手指

●搭載的直線型導軌提高了精度和剛性。扁平型氣動手指比雙活塞式要有更大的高把持力。有同期形，不同期形，加長型、可以針對工件進行選擇。在形狀上，平臺面與導軌之間的高度15cm(φ6) 37cm(φ18)的超薄型設計、全系列可選行程調節機構附件（開方向、閉方向）
缸徑………6mm;8mm;12mm;14mm;18mm
行程………12～80mm
實際把持力………6mm→12N｛1.2kgf｝～18mm→105N｛10.7kgf｝

缸徑 mm	行程 mm	配管連接口徑
8～18	16～80	M3.M5

氣動手指NHBDPG系列

●最適合抓取放開
●通過氣缸的組合，實現較容易的機器臂組合。
●180度開形式，加長行程形式，還有交滾動軸承，直線導軌等形式。

缸徑 mm	行程 mm	配管連接口徑
8～32	4～22	M3.M5

氣動手指NHBDPGJ系列

●最適合抓取放開
●通過氣缸的組合，實現較容易的機器臂組合。
●180度開形式，加長行程形式，還有交滾動軸承，直線導軌等形式。

缸徑 mm	行程 mm	配管連接口徑
8～20	4～14	M3.M5

氣動手指NHBDPGL系列

●最適合抓取放開
●通過氣缸的組合，實現較容易的機器臂組合。
●180度開形式，加長行程形式，還有交滾動軸承，直線導軌等形式。

缸徑 mm	行程 mm	配管連接口徑
8～20	8～22	M3.M5

氣動手指NHBDPGY系列

●最適合抓取放開
●通過氣缸的組合，實現較容易的機器臂組合。
●180度開形式，加長行程形式，還有交滾動軸承，直線導軌等形式。

缸徑 mm	行程 mm	配管連接口徑
8～20	4～14	M3.M5

氣動手指NHBDPA系列

●最適合抓取放開
●通過氣缸的組合，實現較容易的機器臂組合。
●180度開形式，加長行程形式，還有交滾動軸承，直線導軌等形式。

缸徑 mm	行程 mm	配管連接口徑
6～25	4～14	M3.M5

氣動手指NHBDP系列

●最適合抓取放開
●通過氣缸的組合，實現較容易的機器臂組合。
●180度開形式，加長行程形式，還有交滾動軸承，直線導軌等形式。

缸徑 mm	行程 mm	配管連接口徑
10～25	4～14	M3.M5

氣動手指NHBDS系列

●最適合抓取放開
●通過氣缸的組合，實現較容易的機器臂組合。
●180度開形式，加長行程形式，還有交滾動軸承，直線導軌等形式。

缸徑 mm	開閉角度	配管連接口徑
8～25	-10～+30	M3.M5

氣動手指NHBDSLG系列

●因采用了推力軸承，所以具備有很高的精度和剛性。
●180度的開型式樣，最適合工作的防鎖死

缸徑 mm	開閉角度	配管連接口徑
12～20	-6～180	M3.M5

氣動手指NHC系列

●最適合高剛性和高精度的抓取放開
●與從來的相比實現了40％的輕量化、45％小型化
●RoHS指令對應

缸徑 mm	行程 mm	配管連接口徑
10～25	4～14	M3.M5

三爪手指

●在三爪機械手上采用直線型導軌，提高了負載和耐力距能力
●最適合高剛性和高精度的抓取放開
●設置了空氣式和機械式的驅動方式
●中空孔設計，可安裝脫離工件用氣缸
●符合RoHS指令要求

動作方式	缸徑 mm	行程 mm 配管連接口徑
空氣式機械式	16～25	6～14 M5

L手指

●與以往的氣動手指不同的機械溝驅動方式決定了對氣缸工作軸直角方向驅動的可能
●實現了以往產品兩倍的把持力
●對應RoHS指令的要求

缸徑 mm	行程 mm	配管連接口徑
8～25	4～14	M3.M5

寬口式氣動手指WHDP系列

●最適合抓取放開
●通過氣缸的組合，實現較容易的機器臂組合。
●180度開形式，加長行程形式，還有交滾動軸承，直線導軌等形式。

缸徑 mm	行程 mm	配管連接口徑
12～25	24～50	M5

機械手系列

●無需氣動配管，所以最適合于無法空氣配管的地方（分度盤）
●有平行式，平形直線導軌式兩種
●可根據工件情況選擇彈簧彈力的強、弱
●常閉單工作型，支持高速工作（100c.p.m）
●直線導軌式樣在手指滑塊部采用了直線導軌實現了高精度（（+/0.01））與長壽命

缸徑 mm	推力 N	杠桿比
10～20	50～210	1:2.1

導軌式機械手系列

缸徑 mm	推力 N	杠桿比
8～20	30～210	1:2.1:2.2

橡膠手指

●圓柱形橡膠中空體膨脹成環形，通過較大的面積輕柔地接觸，不損害工件，且可以牢固地把持。
●環形的橡膠中空體向內側膨脹，通過大面積輕柔把持。

內徑mm	可搬運質量 g	使用流體
5～105	300～28000	空氣

搬運型 (滑臺式)

AP滑臺

●即維持了直線型導軌的精度和剛性，又很好地追求了小型化，在線型導軌上搭載了小型氣缸的高精度就是此項產品AP滑臺氣缸徑…………6mm～16mm桿…………5～30mm行走平等度…………0.003～0.005mm最大承載重量………0.3～4.0kg

缸徑 mm	行程 mm	配管連接口徑
6～16	5～30	M3.M5

氣動滑臺

●與平臺一體化的設計決定了很高的不回轉精度
●節省空間的設計即可以得到兩倍的推力又可以大大減少設計工序、降低費用，是有高度表現力的產品

缸徑 mm	行程 mm	配管連接口徑
10～25	25～200	M5.Rc1/8

GT滑臺B型

●現在的產品把小型主體與微型導軌結合，實現了Z軸上的高強度和高精度
●使用了無限循環滾動式小型導軌，業界首個小型滑臺，有可一方向配管的省空間設計
●氣缸徑………10mm;16mm;25mm(B型)10mm;16mm(C型)
●氣缸桿………15～120mm往復位置精度…±0.025mm;1kg(10mm);1kg(16mm)(C型)

缸徑 mm	行程 mm	配管連接口徑
10～25	15～120	M5

GT滑臺C型

缸徑 mm	行程 mm	配管連接口徑
10～16	15～120	M5

MT滑臺

●苗條的超薄主體中內置了高操持力磁力式無桿氣缸及超級導軌。還附有進一步提高停止位置精度、降低沖擊和噪音的可變式液壓緩沖器的標準配件。由于空氣連接口與磁性開關的配線取出口朝向同一方，所以支持節省空間設計。氣缸缸徑…………10mm;16mm;25mm行程調節范圍…………200～1200mm往復位置精度……±0.05mm最大載重………5kg(10mm);10kg(16mm);25kg(25mm)

缸徑 mm	行程 mm	配管連接口徑
10～25	200～1200	M5.Rc1/8

RT滑臺B型

●苗條的超薄主體中實現了高速運行和加長行程，內藏有在實績可靠的開口式無桿氣缸。提高了停止位置的精度，支持大負荷和彎曲力矩。確保了很高的直進性能。缸徑………………16mm;25mm 行程………………………200～1200mm 往復位置精度…………………±0.05mm 最大載重……………………20kg(16mm);30kg(25mm)

缸徑 mm	行程 mm	配管連接口徑
16～25	200～1200	4mm.6mm 氣管

WT滑臺

●采用了寬幅型的線性導軌，運行穩定，剛性強。而且大范圍對應行程調節機能。低位置、超薄形設計的平臺，苗條型的外觀形狀里還設計有尾端提高停止位置精度，降低沖擊和噪音的吸收能力固定式的緩沖器及埋入型磁性感應開關。缸徑…………16mm,20mm行程…………50～200mm往復位置精度……±0.05mm最大載重………15.3kg(16mm),20kg(20mm)

缸徑 mm	行程 mm	配管連接口徑
16～20	50～200	Rc1/8

WS滑臺

●滑臺上置有雙活塞桿式及2支導軌，以實現高精度、高剛性、高輸出的性能。而且還設計有尾端提高停止位置精度，降低沖擊和噪音的吸收能力固定式的緩沖器及埋入型磁性感應開關。缸徑…………6mm～25mm行程…………25～150mm最大載重………15N(缸徑)～200N(缸徑25mm)

缸徑 mm	行程 mm	配管連接口徑
6～25	25～150	M3.M5

YZ模塊

●Y・Z軸可以簡單升級，朝向剛性更高，更功能化的要求，兩支軸均為直動導軌結構，可以應對重負載，精度高。而且新開發的中間制動組，小型埋藏式磁性感應開關。Y軸系數（ACY）氣缸直徑…………16mm;25mm 行程…………200～600mm 往復位置精度……+/-0.02mm 最大載重………20kg(16mm);40kg(25mm) Z軸系數（ACZ）氣缸直徑……………20mm;25mm 行程……………50～200mm 最大載重…………6kg(20mm);10kg(25mm)

缸徑 mm	行程 mm	配管連接口徑
16～25	50～600	M5.Rc1/8

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